SECS/GEM

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분류

1. 개요
2. 분류
2.1. SECS
2.1.1. SECS-I
2.1.2. HSMS
2.1.3. SECS-II
2.2. GEM
3. 사용 분야
4. 관련 기업 및 솔루션


1. 개요[편집]

SECS(SEMI Equipment Communications Standard) / GEM(The Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment)

반도체 관련 장비 및 재료 업체가 만든 프로토콜로서 반도체 및 디스플레이 등의 생산 설비의 자동화 지원을 위한 표준화된 프로토콜로서
SECS/GEM을 준수하면 각각의 독립성, 상호운용성, 유연성을 갖춰 통신이 가능해 반도체 팹, OEM 모두 서로 간의 통신 오류를 낮출 수 있다.



2. 분류[편집]


파일:SECS:GEM.png


2.1. SECS[편집]

SEMI 사에서 지정한 통신 표준 규약으로서 생산 설비 장비와 호스트 간의 통신을 위해 만든 통신 규약
이로 생산 설비와 MES 간의 원활한 데이터 교류 기반으로 자동화가 가능케 되었다.
일반적으로 SECS 프로토콜은 SECS-I, HSMS, SECS-II를 합쳐 부른다.



2.1.1. SECS-I[편집]

SECS-I은 비교적 오래된 방식의 통신으로 1980년도에 정의가 되었으며 RS-232를 개입시켜 통신을 송신하는 방법으로 SEMI E4로 정의되어있다.

블록의 구성: A(Block Length_ 1 Byte), B(Header_ 10 Byte), C(Data_ 0~244 Byte), D(Checksum_ 2 Byte)
메시지 트랜잭션: SECS-I 메시지는 블록 단위로 전송되며 ENQ(블록 전송에 대한 요청) > EOT(전송 승인에 대한 응답) > ACK(수신 성공에 대한 의미) or NAK(수신 실패 시)


2.1.2. HSMS[편집]

HSMS는 High Speed SECS Message Service의 약자로 이더넷 기반의 TCP/IP 네트워크에 대응하는 사양을 제공합니다.


2.1.3. SECS-II[편집]

SECS-I과 HSMS는 모두 실제 통신되는 데이터의 규약인 SECS-II데이터를 RS-232C와 이더넷을 통해 전송하기 위한 규약으로 SEMI E5로 정의되어있다.

메시지 구성: 스트림(유사 특성의 메시지 그룹)+펑션(스트림 내 특정한 기능을 갖는 메시지)
SECS-II 데이터 아이템 변수: SV(Status Value, 고유값), DVVAL(Data Value, 특정 이벤트 발생 시 유효값 변수), ECV(Equipment Constant, Host에 의해서 설정 가능한 변수)


2.2. GEM[편집]

장비 동작 및 제어를 위한 통신 모델로서 장비를 제어하기 위한 기본 규칙을 의미합니다.
대부분의 경우 TCP/IP(HSMS 표준, SEMI E37 사용)과 RS-232 기반 프로토콜(SECS-I 표준, SEMI E4 사용)을 사용하여 GEM 지원 호스트와 통신합니다.



3. 사용 분야[편집]

  • 반도체 프론트엔드 : 반도체 프로트 엔드 업계에서는 SEMI 표준 E40, E87, E90, E94, E116을 포함한 GEM300 표준으로 알려진 일련의 표준을 정의하였으며, 각 표준은 GEM 인터페이스에 추가 기능을 제공하며 GEM E30 표준을 기반으로 제공합니다. 300mm(12인치) 크기의 웨이퍼 공장에서는 표준 데이터 수집 기능과 동시에 웨이퍼 이동, 순차적인 작업 실행 등에 위한 특정 장비 활동을 위한 제조 자동화를 구현합니다. 이를 위하여 GEM300 표준이 필요하며 이 산업에서 GEM 및 관련 SEMI 표준을 강력하게 지지하여 왔습니다.
  • 반도체 백엔드 : 테스터 특정 장비 모델의 경우 SEMI E122 표준, 핸들러 장비 모델의 경우 SEMI E123 등 추가 표준 구현되었습니다.
  • 태양광 : 2008년도 태양광 발전 업계는 SECS/GEM을 표준 채택하여 사용되어 왔습니다.
이 외에도 디스플레이, 전기차 등의 산업에서 많은 장비들의 통신을 도와 사용되고 있습니다.


4. 관련 기업 및 솔루션[편집]

  • 링크제니시스: 링크제니시스는 국내 최초 SEMI 표준 통신 솔루션을 상용화한 기업으로 국내 가장 많은 설비 회사에서 사용되고 있다.
    • XComPRO: 반도체 및 평판 디스플레이 장비간 표준 통신 프로토콜인 SECS*를 보다 쉽고 간편하게 사용 할 수 있도록 지원하는 통신용 드라이버
    • XGemPRO: 반도체 장비의 GEM 통신/제어를 보다 쉽고 간편하게 대응할 수 있는 GEM 통신용 드라이버로 SEMI E30 GEM 사양을 지원
    • XGem300PRO:XGemPRO를 기본으로 포함하고 있으며, 300mm 라인에서 사용하는 시나리오를 추가 지원하는 제품



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